石墨舟状态对镀膜均匀性的影响

将新石墨舟及应用超出三年的旧石墨舟饱和状态后开展PECVD表层的镀膜。新石墨舟表面平面度好，石墨舟片导电率一致，塑料薄膜分子结构能够匀称地沉积在硅片表面，片 间匀称性更优质。新石墨舟饱和状态后在沉积时仍有一部分等离子技术在石墨舟上面沉积，运作频次低于三十次时，伴随着运作频次的提升，石墨舟上面沉积的等离子技术降 低，片间匀称性越佳。运作频次超过三十次后，伴随着应用频次的提升，石墨舟片内腔与硅片触碰边沿处塑料薄膜增厚，静电场反倒强大，产生大量的低温等离子沉积，易出 現不一样水平的边沿泛白状况，造成片间匀称性多次下降。 宜兴市永旭石墨制品有限公司位于著名的陶都宜兴市丁蜀镇，紧靠104国道，交通便利，是石墨制品制造业的大型企业。产品销售范围包括亚洲，欧美各地。生产碳——石墨 制品已有多年历史，积累了丰富的理论知识和实践经验， 培养了一支高素质的专业技术队伍及精干的职工队伍。 公司产品广泛应用于冶金，机械、模具、石油、化工、纺织、机电、金刚石工具等各行业。近年来，产品越来越多的服务于航天、航空工业，军事工业以及高新技术企业的 领域。本公司一贯遵循质量为本、顾客满意的宗旨，产品已通过ISO9000质量体系认证，得到了国内外越来越多客户的信赖。本公司注重高新科技产品的开发和研制，另可根 据客户的需要提供各种石墨制品，本公司愿真诚的服务于国内外的广大客户。